産業技術総合研究所(産総研)は18日、石村和彦理事長らの定例記者懇談を開き、今年度下期以降の経営方針などを発表した。柱の1つに半導体関連を掲げ、米インテルと協力して最先端半導体の研究開発拠点を設け、極端紫外線(EUV)露光装置を導入するほ...
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